第286章 中芯的接管
说罢,不等王工解释,许浪又转向cmp组的负责人。
“张工,cmp的碟形缺陷,你们一直在换抛光垫和抛光液,这是为什么?”
张工一愣,虽然不知道许浪为什么问这个,但还是快速解释着。
“许总,国产抛光液就是不行,台电用的那款我们又买不到,只能采用这种方法。”
“嗯,不一定是抛光液的问题,我看过你们提交的资料,你们的抛光头压力分布是均匀的,但中心区域的抛光速率比边缘快,或许可以尝试一下把中心压力调低,边缘压力调高。”
许浪不停地介绍着,一个一个困扰的问题都被许浪点出,虽然其中不一定就是最终的解决方案,但确实给到了众人很多新的思路。
本来这些技术骨干看到一个如此年轻的人成为了中芯的临时负责人,哪怕对方是熊猫科技负责人、龙国首富,但心里依旧有着不少芥蒂。
虽然对方地位高也有钱,但半导体和晶圆代工跟互联网可不一样,涉及到的知识根本不是同一个层次的。
让这么一个外人来领导自己这样的专业人士,这不是乱来吗?
但经过这么一出,众人的表情都变了,一下子就明白了,眼前的年轻人是懂技术的,不但懂技术,对于技术的理解更是比现场众人还要厉害,还特别擅长从一些小数据上分析出问题所在。
但一个新的问题突然出现在众人的脑海里,眼前这个在其他行业都有所成就、在芯片行业又这么厉害的年轻人,到底是怎么学的?难道这个世界上真的有这种看一眼就学会的天才吗?
许浪看着众人的惊讶眼神,笑着解释着。
“好了,我没有你们想的那么厉害,只是你们陷在经验里走不出来了,有时候跳出这些实验数据,从系统层面看问题反而更清楚。接下来一个月,我会带领你们一步一步地解决这些问题,大家先按照我刚才提出的问题去重新检查,确定真正的问题所在。”
......
1天后,依旧是这个会议室,依旧是之前那些技术人员,只不过众人的表情已经彻底变了。
看到许浪走进来,几个负责人再也忍不住了,直接站了起来。
“许总,我们检查了,晶圆在传送过程中会产生0.5至1nm的热变形,导致光刻层与层之间的对准偏差超过5nm......”
“许总,抛光过程中确实有问题,铜层的抛光速率不均匀,晶圆中心抛光快,边缘抛光慢,导致金属层表面粗糙度超过0.8nm......”
“许总,应用材料viista离子注入机的扫描均匀性确实不足,我们检查到晶圆中心与边缘的离子掺杂浓度差异高达18%......”