第322章 晶片量產出问题了！

  论文写到一半，手机响了。赵阳看了一眼来电显示，是梁孟松。

  “梁博士。”

  赵阳放下手里的键盘接了电话。

  “老板。”

  梁孟松的声音听上去有些疲惫，但更多的是压著火的无奈，

  “晶片量產出了点问题。光刻机那边有几个关键参数的校准一直过不去，我们的工程师已经调了好几轮了，套刻精度始终稳不住。这些问题本来应该由阿斯麦那边的现场工程师来解决，但你知道，我们这批光刻机的情况比较特殊。”

  赵阳当然知道。这批光刻机是通过小新在新加坡的壳子公司採购的，最终目的地被悄悄改到了龙国大陆。

  阿斯麦那边至今以为这批设备还在新加坡的裕廊工业区里，根本不知道它们已经被装进了昌城的晶圆厂。这种情况下，让阿斯麦派工程师过来是不可能的。

  “具体是什么参数稳不住？”

  赵阳问道。

  “主要是套刻精度。二十八纳米节点的套刻精度要求控制在三点五纳米以內，我们目前只能做到五点几，差了近两个纳米。另外光源的均匀性也有波动，曝光场边缘的剂量比中心低了將近两个百分点。我们的工程师已经把所有能调的机械参数都调了一遍，就是过不去。”

  赵阳沉默了片刻。他前世在晶片行业摸爬滚打了十几年，虽然不是专门搞光刻工艺的，但各种技术问题接触得多了，光是旁观就积累了不少经验。

  “我去看看。明天上午飞昌城。”

  赵阳说。

  电话那头安静了大概两秒。梁孟松原本打这个电话的目的是想让赵阳尝试去挖几个阿斯麦的工程师，或者从台积电那边挖人。