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第324章 32纳米!良率92!

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  赵阳接过报告翻了两页,然后把报告合上。旁边几个工程师也都凑过来,大家面上都露出兴奋。

  他们完成了!

  32纳米晶片,成功实现量產!

  而且良品率达到了九十二。这可是整个龙国头一次。在整个世界上,都属於第一流、最先进的工艺。

  目前台积电这种巨头也只是实现了32纳米晶片良率超过九十。这可是很了不得的成就。

  “真做出来了。”

  一个年纪稍大的工程师站在白板前面,拿起板擦把之前写的几个问题参数一个个擦掉,粉笔灰扬起来,他也没躲,面上充满了兴奋。

  “我干这行十几年了,从六寸线一路跟到十二寸线,从来没想过能在內地的工厂里把32纳米做到九成以上的良率。”

  旁边另一个工艺工程师盯著屏幕看了好一会儿。

  “套刻精度三点二纳米,曝光均匀性偏差零点五个百分点,这些数据放在台积电也是能拿去给客户看的水平。”

  梁孟松站在旁边,把那份测试报告从桌上拿起来又看了一遍。他翻到第三页的良率统计表,盯著“92.3%”这个数字看了很久,然后把报告放回桌上,抬头看了看赵阳。

  他原本以为,就算赵阳通过特殊渠道弄来了阿斯麦的先进光刻机,纯內地的晶片厂要实现32纳米的量產,起码也需要一两年的时间,而且良率的爬坡会非常缓慢。毕竟没经验。

  没有从台积电三星那边挖过来的核心工艺团队,没有原厂工程师的现场支持,光靠一群內地培养的工程师自己摸索,能把设备跑通就不错了,良率这种东西需要长期积累。

  但赵阳在工厂里待了不到十天,一个参数一个参数地调,从光刻机联调到刻蚀均匀性,从cmp终点检测到离子注入角度,每一个问题都是现场看数据、现场给方案,没有一个问题是拖到第二天才解决的。

  “老板。”

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