第440章 光波没有摩擦力
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  “1.5微米线宽，上下层对齐的套刻精度，最多只能容忍300纳米误差。”
  他手指敲了敲图纸。
  “也就是说，我们的尺子，得能量出几十纳米级別的微小位移。”
  江俊合上资料，语气很沉。
  “三年前搞出来的1微米精度光柵尺，已经不够用了。”
  林希点了点头。
  他很清楚，在1984年，测量工具的精度落后，就是卡死晶片製程的物理天堑。
  你连工作檯挪了多少都量不准，还谈什么套刻？
  晶片不是靠热血喊出来的。
  每一道线，都得用精度咬出来。
  “跟我来。”
  江俊没多解释，转身就走。
  林希跟著他推开走廊尽头一间独立实验室的门。
  屋里温度比外面低，墙角的除湿机一直在响。
  光学平台四周拉著黑色遮光帘，地面上连脚印都很少。